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产品销售半导体制造设备

半导体制造设备

支援4英寸之晶元蜡粘贴装置(商品名称:TEC-1006ZR)

  • 可将多量晶元黏贴至陶瓷板上的作业自动化。

优点

实现晶元的粘贴平坦度的稳定化(本公司实际成果2.5um)

可支援复数晶元

2英寸:最多可贴10张;3英寸:最多可贴5张;4英寸:最多可贴3张。

能支援多样化的Recipe

能支援加热器,WAX涂布,压模,冷却等的多样化的Recipe。

根据优化条件以实现高生产量。(本公司实际成果:2英寸*8张=15分以内)

尺寸(长×宽×高)

940mm×810mm×1680mm / 500kg

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