PRODUCT製品販売

製品販売ブレーク装置

ブレーク装置

4インチウェハ対応 フルオートブレーク装置(商品名:TEC-1018AR)

  • チップ分離、パッケージ分離他、広範囲で活用できる全自動ブレーク装置です。

特長

画像認識搭載のフル・オート操作

ウェハのロードから画像認識を行い、加工後のアンロードまで全て自動で処理します。

オートウェハアライメント機能

フルオートブレーク装置に不可欠なオートアライメント機能付きです。

ブレーク認識機能搭載

ブレーク出来たか否かの検知をすることで、ダブルチップの発生の低減を実現しました。

高剛性設計による小チップ対応

小チップ対応を実現します。

ローダー・アンローダー・システム

リング25枚を収納できるカセットの搭載が可能です。

カスタムブレークブレード可能

ブレード刃先の先端形状などのカスタマイズが可能です。

オプション

上面ライトシステム
下面からの照射だけでは見え難いウェハに対して、有効な上面から照射を行います。
電磁ハンマーユニット
通常のブレーク動作だけでは割れ難いウェハに対して、ブレークのサポートをするユニットです。

サイズ(幅×奥行×高さ)

1166m×862mm×1963mm / 550kg

製品に関するお問い合わせは下記のエントリーページよりお願いいたします。

エントリーフォームはこちら
Copyright© 2018 KUMASAN MEDIX All rights reserved.