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PRODUCT製品販売

製品販売半導体製造用装置

半導体製造用装置

4インチ対応 ウェハーワックス貼付装置(商品名:TEC-1006ZR)

  • セラミックプレートへの多数枚ウェハー貼付作業を自動化に!

特長

ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現(当社実績2.5um)

多数枚ウェハーに対応可能

2インチ:最大10枚、3インチ:最大5枚、4インチ:最大3枚まで貼り付けが可能です。

多彩なレシピに対応可能

ヒーター、WAX塗布、プレス、冷却などの多彩なレシピに対応可能です。

条件の最適化により高スループットを実現します。(当社実績:2インチ×8枚=15分以内)

サイズ(幅×奥行×高さ)

940mm×810mm×1680mm / 500kg

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