メインへ戻る| 半導体技術部門は、前工程用半導体製造装置の保守メンテナンス業務及び移設/立上作業、改造、 解体、廃棄作業を全般に行っております。またポンプ関連のメンテナンス、及び真空部品洗浄器の 設計・製作・設置を行っています。 |
| 半導体製造装置の保守メンテナンス業務移設/立上作業、改造、解体、廃棄作業及び重量物運搬作業 までの一連の作業が可能な為お客様のニーズに幅広く対応出来ます。 また半導体装置には欠かせない真空機器なども、販売からメンテナンスまで可能なかぎりのサービスに 努め、真空配管及び、内部治具の設計・製作・設置とさまざまな分野でお応えします。 |
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 イオン注入機の移設 / 立上げ作業 / 改造作業 / オーバーホール作業 |
| イオン注入機等のユニットメンテナンス ＤＰポンプ、加速管、電極、各種バルブ、ユニット等メンテナンス |
| プローバー装置（１９Ｓ，２０Ｓ，７８Ｓ，８０Ｓ，８Ｗ：東京エレクトロン株式会社製の移設、Ｏ／Ｈ、修理 及び各パーツの販売 |
| 半導体製造装置の部品洗浄 / 製作作業等 |
| 半導体製造装置の解体・廃棄 |
| 半導体製造装置メーカーへ業務請負 |
| 中古装置の売買及び立上げ |
| ガスライン製作 |
| クライオポンプ、ＤＩポンプ等メンテナンス |
| ターボ分子ポンプ（三菱重工製）販売、メンテナンス |
| 各種真空バルブメンテナンス(VAT製 他） |
| 計測器類 デジタルマルチメータ、ＨＶデバイダー、プローブ、カレントソース、パワーサプライ等の修理、販売 |
| 配管類の製作、改造 真空装置に関わる真空配管及び排気配管の製作 |
| その他取り扱い品 Ｏリング等各種シール部品、真空用潤滑剤各種、真空配管部品各種、ベローズ各種、ＨＣＩＧ、ＣＣＩＧ 各種電子部品、その他の半導体、関連備品等 |
※上記以外にもご要望があれば、別途御相談下さい
はこちら 
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【メンテナンスの内容】
| ①イオン注入機のインスタレーション、移設、改造、解体、オーバーホール ②プローバ装置の移設、改造、修理、オーバーホール ③クライオポンプのメンテナンス、真空機器販売メンテナンス ④その他、前工程用半導体製造装置のインスタレーション、改造、保守、メンテナンス業務 ⑤中古販売及び部品の販売（リファブをして販売します）また、買取も致します ⑥真空配管及び内部治具の設計・製作・施工 を行っています。 一連の作業が可能な為、お客様のニーズに幅広く対応し、コスト低減を実現致します。
販売からメンテナンスまで可能なかぎりのサービスに努め、様々な分野でお応え致します。 お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 旭化成株式会社 | セイコーエプソン株式会社 |
| 旭化成マイクロデバイス株式会社 | ソニーセミコンダクター九州株式会社 |
| オリジン電気株式会社 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 |
| オン・セミコンダクター・テクノロジー株式会社 | 日立プロキュアメントサービス株式会社 |
| 株式会社東芝セミコンダクター社 | 富士通株式会社 |
| 株式会社豊田通商 | 富士通セミコンダクターテクノロジー株式会社 |
| 株式会社 リコー | 松下電器産業株式会社 |
| 株式会社ルネサス北日本セミコンダクタ | ミツミ電機株式会社 |
| 株式会社ルネサステクノロジ | 宮崎沖電気株式会社 |
| 株式会社ルネサス東日本セミコンダクタ | ヤマハ鹿児島セミコンダクタ株式会社 |
| 三洋半導体製造株式会社 | ロームアポロデバイス株式会社 |
| シャープ株式会社 | ほか |
| SpansionJapan株式会社 | (あいうえお順） |
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テクニカルセンター
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〒869-1231
熊本県菊池郡大津町平川1257-1
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| 岩手営業所 |
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ＮＰＯ法人日本半導体エンジニアリングネットワーク協会